AFM Nanostage 3D translatiestage

Opdrachtgever

Vakgroep Control Systems Technology, prof.dr.ir. M. Steinbuch i.c.m. Constructies en Mechanismen, dr.ir. P.C.J.N. Rosielle, TU/e faculteit Werktuigbouwkunde.
Promotie ontwerp van ir. C. Werner

Omschrijving

De Nanostage 3D translatiestage is onderdeel van een metrologische Atomic Force Microscope (AFM) met een groot meetvolume. De stage bevat elastische parallelgeleidingen en drie Lorentz actuatoren om het sample te bewegen. De AFM kop zelf staat stil. Stijfheid- en gewichtcompensatie mechanismen minimaliseren de warmteontwikkeling in de actuatoren. De sampleverplaatsingen worden gemeten met drie differentiële interferometers van eigen ontwerp.
Meer informatie is te vinden op www.nanostage3D.nl

Specificaties

  • Meetvolume: 1x1x1 mm
  • Resolutie stage: < 0,3 nm
  • Afmetingen: diam. 250 mm, hoogte 170 mm