Low Energy Ion Scattering Analyzer LEIS

Opdrachtgever

Calipso B.V., prof. dr. H. Brongersma

Omschrijving

Oppervlakte analyse apparaat voor de buitenste atoomlaag van een test sample. Door middel van een electromagnetisch lenzen systeem worden edelgas ionen tegen het te onderzoeken materiaal geschoten. Van de teruggekaatste ionen wordt het energiespectrum gemeten. Dit energiespectrum kan geinterpreteerd worden als een massa spectrum voor het sample oppervlak.