Nanomefos: Contactloze meetmachine voor freeform optiek

Opdrachtgever

Divisie DCT, subgroep Constructies en Mechanismen, dr. ir. N. Rosielle faculteit Werktuigbouwkunde TU/e in samenwerking met NMi VSL en TNO.
Promotie ontwerp ir. R. Henselmans

Omschrijving

Contactloze meetmachine voor asferische en freeform optiek in optische systemen. De meetmachine bestaat uit drie subsystemen: het bewegingssysteem, de contactloze taster en een meetlus. Een speciale contactloze taster die binnen het project is ontwikkeld leest het oppervlak af. De contactloze taster heeft een bereik van 5 millimeter en nanometernauwkeurigheid. Om een lange meetlus en de bijbehorende meetfouten te voorkomen, is er een speciaal metrologieframe toegevoegd. Interferometrisch wordt de positie van de taster ten opzichte van dat frame gemeten. De bewegingen zijn luchtgelagerd en aangestuurd met lineaire motoren. De aansturing gebeurt met een Dspace systeem.

Specificaties

  • Universeel meten van freeform en asferische oppervlakken
  • Meetvolume rond 500 x 100 mm
  • Zowel convex als concaaf, tot 45°
  • Contactloos
  • Meetonzekerheid 30 nm